アセンブリの蓋部上に配置したＭＥＭＳ装置

摘要

微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）アセンブリが、基板、蓋部、ＭＥＭＳデバイス及び少なくとも１つの壁部を含む。基板は電気接続パッドを有し、この電気接続パッドは、基板を貫いて延びる導体に結合される。ＭＥＭＳデバイスは、蓋部に取り付けられる。少なくとも１つの壁部は、蓋部及び基板に結合され、蓋部とは別個に形成され、内部に電線管を配する。電線管は、基板上の導体に電気的に結合される。電線管及び導体は、ＭＥＭＳデバイスと電気接続パッドの間の電気路を形成する。【選択図】図２