发明名称 A METHOD FOR ETCHING COPPER AND RECOVERY OF THE SPENT ETCHING SOLUTION
摘要 <p>본 발명은, 에칭 및 회수 방법에 관한 것이고, 구리로 제조된 제품을 Cu를 Cu로 산화시키기 위한 Cu, 염화물 이온, Cu를 Cu로 산화시키기 위한 산화제 및 pH 조절 염산을 함유하는 에칭 화학물질의 산 수용액으로 에칭시키는 방법에 관한 것이다. 해결하려는 기술적 문제는 폐쇄 회로가 공정들 사이에서 유지될 수 있도록 하는 방식으로 사용된 에칭 용액의 회수 동안 에칭 공정과 회수 공정 사이에서 에칭 용액을 순환시킬 수 있게 하는 것이다. 이는 사용된 에칭 용액보다 적은 양의 Cu가 생성되고, 회수 공정이 제거된 에칭 용액을 Cu가 유기 추출 용액에서 추출될 수 있는 구리 착물을 생성시키도록 하는 착화합물의 유기 추출 용액과 혼합시킨 후, 2가지 혼합된 액체를 다시 한번 분리시켜서 상기 구리 착물을 함유하는 유기 추출 용액 및 회수된 에칭 용액을 얻도록 수행된다. 방법은 1.5를 초과하는 pH 및 높은 구리 함량을 갖는 에칭 용액으로 수행된다.</p>
申请公布号 KR101560704(B1) 申请公布日期 2015.10.15
申请号 KR20107000541 申请日期 2008.07.07
申请人 发明人
分类号 B01D11/04;C23F1/18;C23F1/46;H05K3/06 主分类号 B01D11/04
代理机构 代理人
主权项
地址