| 摘要 |
本発明は、エアロゾル粒子の粒径分布を特定する方法及び装置１に関する。本方法は、被変調エアロゾル粒子ビームを生成するために変調関数によって制御されるエアロゾル粒子ゲート２を用いてエアロゾル粒子ビーム６を変調するステップと、ドリフト領域３を通るように前記被変調エアロゾル粒子ビームを誘導するステップと、前記被変調エアロゾル粒子ビームが前記ドリフト領域３を通り抜けた後に、前記被変調エアロゾル粒子ビームの信号を測定するステップと、前記エアロゾル粒子の前記粒径分布を特定するために前記変調関数と前記信号との相関を計算するステップとを含む。本装置１は、エアロゾル粒子ビーム６から被変調エアロゾル粒子ビームを生成するために変調関数によって制御されるエアロゾル粒子ゲート２と、前記被変調エアロゾル粒子ビームが通るように誘導可能なドリフト領域３と、前記被変調エアロゾル粒子ビームが前記ドリフト領域３を通り抜けた後に、前記被変調エアロゾル粒子ビームの信号を測定可能な検出器４と、前記エアロゾル粒子の前記粒径分布を特定するために、前記変調関数と前記信号との相関を計算可能な計算ユニット５とを備える。【選択図】図１ａ |
