| 摘要 |
<p>Verfahren zum Trocknen von scheibenförmigen Substraten, die in eine Flüssigkeit getaucht sind, und Scheibenhalter zur Durchführung des Verfahrens. Das Verfahren umfasst das Halten der Substrate auf einer keilförmigen Kante eines länglichen Scheibenhalters, wobei die Substrate auf dem Scheibenhalter stehen; das Überführen der Substrate und der keilförmigen Kante des Scheibenhalters aus der Flüssigkeit in einen Gasraum enthaltend einen Dampf, der auf den Substraten nicht kondensiert und die Oberflächenspannung von Flüssigkeitsresten herabsetzt, die an den Substraten haften, und ist gekennzeichnet durch das Entfernen von Flüssigkeitsresten zwischen den scheibenförmigen Substraten und dem Scheibenhalter durch einen Schlitz in der Mitte der keilförmigen Kante des Scheibenhalters.</p> |
