发明名称 |
Verfahren und Vorrichtung zur Strahlbearbeitung von Werkstücken |
摘要 |
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung des Materialabtrags bei der Bearbeitung eines Werkstücks (4) mit einem Strahlwerkzeug sowie ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Strahlbearbeitung, wobei ein Schwingquarz (5) bereitgestellt wird, welcher mit dem Material des Werkstücks beschichtet wird oder dieses umfasst, wobei das Material des Werkstücks mit dem Strahlwerkzeug von dem Schwingquarz (5) zumindest teilweise entfernt wird und die Veränderung der Eigenfrequenz des Schwingquarzes durch den Materialabtrag bestimmt wird und wobei aus der Veränderung der Eigenfrequenz des Schwingquarzes der Materialabtrag bzw. die Materialabtragsrate bestimmt wird. |
申请公布号 |
DE102015215851(A1) |
申请公布日期 |
2015.10.15 |
申请号 |
DE201510215851 |
申请日期 |
2015.08.19 |
申请人 |
CARL ZEISS SMT GMBH |
发明人 |
SCHINKE, JANUSCH;SUSKE, MARTIN;BADER, FRANK |
分类号 |
G01N5/02;G01N29/00;G03F7/20;H01J37/30 |
主分类号 |
G01N5/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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