| 摘要 |
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Be- und Entladung von Transportbehältern unter definierten Umgebungsbedingungen mit Komponenten (14), die bei der Herstellung und/oder Bearbeitung von mikroelektrischen Elementen oder von Elementen der Mikrosystemtechnik verwendet werden, mit mindestens einer Kammer, in welcher mindestens ein Transportbehälter (20) angeordnet und geöffnet oder geschlossen werden kann, wobei die Vorrichtung weiterhin eine Gasflusseinrichtung aufweist, mit der im Betriebszustand der Vorrichtung ein horizontaler Gasfluss (32) durch die Kammer einstellbar ist. |
