| 摘要 |
<p>【解決手段】 原子的に鋭利な切断器具を形成する方法が記載されている。方法は、例えば、サファイア、炭化ケイ素、シリコン等の単結晶物質から作製された原子的に鋭利な切断器具の製造のコスト効率が高くかつ効率的な技術を提供することができる。方法は、切断が前記単結晶物質の好ましい自然面に沿って促進されることができる前記結晶物質の好ましい幾何学的配向を特定して選択することを含むことができ、したがって、最終的に原子的に鋭利な刃先を作製する。前記単結晶物質は、前記好ましい面を基準とした所定の配向で配置されたフォトレジスト材料によって選択表面位置において被覆されてもよく、前記単結晶物質の露出した表面部分におけるエッチングを可能としながら未露出表面部分のエッチングを防止する。エッチングが所定の終点に到達すると、原子スケールの刃先は、物理的切断によって形成されることができる。【選択図】 図９</p> |
