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发明名称 PROCESS AWARE METROLOGY
摘要 Systems and methods for process aware metrology are provided.
申请公布号 EP2758990(A4) 申请公布日期 2015.10.14
申请号 EP20120833283 申请日期 2012.09.20
申请人 KLA-TENCOR CORPORATION 发明人 LIU, XUEFENG;CHUANG, YUNG-HO, ALEX;FIELDEN, JOHN;TSAI, BIN-MING, BENJAMIN;ZHANG, JINGJING
分类号 H01L21/66;G03F7/20 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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