发明名称 |
一种大面积类金刚石化学气相沉积镀膜生产线 |
摘要 |
本发明提出了一种大面积类金刚石化学气相沉积镀膜生产线,其特征在于包括依次连接的进升降架、进初抽气室、进精抽室、进调气室、进过渡室、工艺室、出过渡室、出调气室、出精抽室、出初抽气室、出升降架、与工件架适配的工件回行轨道组成连续循环生产的运行回路,所述进初抽气室连接第一抽气系统;所述进精抽室第二抽气系统;所述进调气室连接第三抽气系统;进过渡室、工艺室以及出过渡室均与第四抽气系统连接;所述出调气室与第五抽气系统连接、出精抽室与第六抽气系统连接、所述出初抽气室与第七抽气系统连接。本发明的大面积类金刚石化学气相沉积镀膜生产线,结构设计简单、紧凑,产品产量大、生产成本低、膜层均匀性好、工艺可开发性强。 |
申请公布号 |
CN104975275A |
申请公布日期 |
2015.10.14 |
申请号 |
CN201510456355.6 |
申请日期 |
2015.07.29 |
申请人 |
河源市璐悦自动化设备有限公司 |
发明人 |
郭爱云;周学卿;赵灿东;黄定平 |
分类号 |
C23C16/54(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/54(2006.01)I |
代理机构 |
广州凯东知识产权代理有限公司 44259 |
代理人 |
罗丹 |
主权项 |
一种大面积类金刚石化学气相沉积镀膜生产线,其特征在于包括依次连接的进升降架、进初抽气室、进精抽室、进调气室、进过渡室、工艺室、出过渡室、出调气室、出精抽室、出初抽气室、出升降架、与工件架适配的工件回行轨道组成连续循环生产的运行回路,所述进初抽气室连接第一抽气系统;所述进精抽室第二抽气系统;所述进调气室连接第三抽气系统;进过渡室、工艺室以及出过渡室均与第四抽气系统连接;所述出调气室与第五抽气系统连接、出精抽室与第六抽气系统连接、所述出初抽气室与第七抽气系统连接。 |
地址 |
517000 广东省河源市源城区龙岭工业园龙岭三路企业服务中心大楼331房 |