发明名称 |
整体式PSS刻蚀托盘治具 |
摘要 |
本发明公开了一种整体式PSS刻蚀托盘治具,包括整体式托盘与由金属材料制成的压环,所述的整体式托盘上排列设置有多个片槽,每个所述的片槽内设置用于放置晶圆片的搭阶,所述的片槽内位于搭阶的下方设置有冷却腔,所述的冷却腔设置多个冷却孔,所述的冷却孔通有冷却气体,每个所述的片槽内的晶圆片上方设置压环,所述的压环呈环形并覆盖于晶圆片的周向边缘。由于采用了以上技术方案,本发明将石英件的优点与金属件的优点结合了起来,对边缘效应有较好的改善效果,不需要使用如定位盘等额外工具,且不需要使用真空脂等密封材料,操作简便,可以提高工效,节省人工成本。 |
申请公布号 |
CN104979251A |
申请公布日期 |
2015.10.14 |
申请号 |
CN201510417149.4 |
申请日期 |
2015.07.16 |
申请人 |
海迪科(南通)光电科技有限公司 |
发明人 |
魏臻;孙智江;贾辰宇 |
分类号 |
H01L21/673(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/673(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种整体式PSS刻蚀托盘治具,其特征在于:包括整体式托盘(1)与由金属材料制成的压环(2),所述的整体式托盘(1)上排列设置有多个片槽(3),每个所述的片槽(3)内设置用于放置晶圆片的搭阶(4),所述的片槽(3)内位于搭阶(4)的下方设置有冷却腔(5),所述的冷却腔(5)设置多个冷却孔(6),所述的冷却孔(6)通有冷却气体,每个所述的片槽(3)内的晶圆片上方设置压环(2),所述的压环(2)呈环形并覆盖于晶圆片的周向边缘。 |
地址 |
226500 江苏省南通市如皋市桃园镇育华村34组光电科技产业园8号 |