发明名称 |
リソグラフィ装置用の光学素子マウント |
摘要 |
A mount configured to mount an optical element in a module for a lithographic apparatus. The mount includes a plurality of resilient members constructed and arranged to circumferentially support the optical element. Each resilient member includes a plurality of resilient subsections that are configured to engage the optical element around a perimeter thereof. Each resilient subsection is configured to flex independent of another resilient subsection. |
申请公布号 |
JP5793222(B2) |
申请公布日期 |
2015.10.14 |
申请号 |
JP20140125644 |
申请日期 |
2014.06.18 |
申请人 |
エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. |
发明人 |
テゲンボシュ ヘンリクス ゲラルドゥス;ストリュッケン アレクサンダー マテイス;ヤコブ クレイン;ベーレンス リュート アントニウス カタリーナ マリア;ファンデルハーレン イボ |
分类号 |
G03F7/20;G02B7/192;G02B19/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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