双振膜声学装置

摘要

本发明涉及一种用在微机电系统(MEMS)麦克风中的双振膜，该双振膜包括：主振膜，该主振膜限定穿过该主振膜的开口；以及设置于所述开口内的副振膜。所述主振膜通过至少一个连接部分连接至所述副振膜。对于给定声音等级，所述主振膜具有第一振动幅度，所述副振膜具有比所述第一振动幅度更大的第二振动幅度。

主权项

一种用在微机电系统麦克风中的双振膜，所述双振膜包括：主振膜，该主振膜限定穿过该主振膜的开口；至少一个连接部分；设置于所述开口内的副振膜，所述主振膜通过所述至少一个连接部分连接至所述副振膜，其中，所述主振膜对于给定声音等级具有第一振动幅度，所述副振膜对于所述给定声音等级具有第二振动幅度，所述第二振动幅度大于所述第一振动幅度。