| 发明名称 | 清洗工业设备部件以除去金属卤化物的方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及清洗工业设备部件以除去金属卤化物的方法。本发明提供了清洗工业设备部件以除去选自硅烷、金属卤化物、有机金属卤化物和它们的混合物中的污染物的方法，其中，所述方法包括用液态腈或胺或它们的混合物或用非质子溶剂中的腈或胺或它们的混合物的溶液处理工业设备部件。 | ||
| 申请公布号 | CN104971918A | 申请公布日期 | 2015.10.14 |
| 申请号 | CN201510139808.2 | 申请日期 | 2015.03.27 |
| 申请人 | 瓦克化学股份公司 | 发明人 | 亚娃德·穆赫塞尼;康拉德·毛特纳;彼得·尼恩贝格;克里斯蒂安·卡尔滕马克纳;克劳斯·克普勒;安德烈亚斯·布罗克霍尔特 |
| 分类号 | B08B3/08(2006.01)I | 主分类号 | B08B3/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人 | 沈敬亭;刘书芝 |
| 主权项 | 一种清洗工业设备部件以除去选自硅烷、金属卤化物、有机金属卤化物和它们的混合物中的污染物的方法，其中，所述方法包括用液态腈或胺或它们的混合物，或用非质子溶剂中的腈或胺或它们的混合物的溶液处理所述工业设备部件。 | ||
| 地址 | 德国慕尼黑 | ||