一种制备孔间距一致的碳纳米管刷的方法

摘要

本发明公开了一种制备孔间距一致的碳纳米管刷的方法。将孔间距一致的孔道模板放入管式炉中，利用化学气相沉积法生长碳纳米管阵列，每个孔道中生长一根碳纳米管；将生长了碳纳米管阵列的模板用砂纸打磨后粘附于硅片、玻璃或柔性聚酰亚胺基底上，置于室温下固化；最后除去孔道模板的骨架成分，用去离子水进行清洗并烘干，露出刷毛，形成碳纳米管刷。本发明工艺简单，实用性强，制成的碳纳米管刷的刷毛疏密可控，长度一致，便于大规模工业生产，在微电子领域清洁方面有很大的应用潜力。

主权项

一种制备孔间距一致的碳纳米管刷的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，使用化学气相沉积法在带孔道且孔间距一致的模板上生长碳纳米管，每个所述孔道中生长一根所述碳纳米管，形成碳纳米管阵列；反应温度为650～900℃，反应时间为1～3h；步骤2，将所述模板打磨后粘附于基底上固化，碳纳米管和基底固定在一起；步骤3，除去所述模板，将留下的碳纳米管和基底进行清洗，形成碳纳米管刷。