带位移自检测功能的3-DOF硅基平面并联定位平台及制作方法

摘要

本发明涉及带位移自检测功能的3-DOF硅基平面并联定位平台及制作方法，该定位平台包括单晶硅基片和玻璃基片，单晶硅基片上设有载物台、静电梳齿致动器、检测梁、折叠梁、柔性支撑梁和柔性铰链，载物台位于单晶硅基片的并可三自由度运动，载物台通过柔性铰链依次连接柔性支撑梁、折叠梁、静电梳齿致动器和检测梁，检测梁上集成有位移检测传感器，玻璃基片上设有与静电梳齿致动器连接的致动器驱动电极，单晶硅基片上的载物台、静电梳齿致动器、检测梁、折叠梁、柔性支撑梁和柔性铰链采用体硅工艺在同一硅片上一体化加工形成。与现有技术相比，本发明集结构、驱动和位移检测于一体可实现各运动方向位移实时检测和控制，定位精度高。

主权项

一种带位移自检测功能的3‑DOF硅基平面并联定位平台，其特征在于，包括单晶硅基片和玻璃基片，所述的单晶硅基片设在玻璃基片上方，单晶硅基片上设有载物台、静电梳齿致动器、检测梁、折叠梁、柔性支撑梁和柔性铰链，所述的载物台位于单晶硅基片的中央并可三自由度运动，载物台通过柔性铰链依次连接柔性支撑梁、折叠梁、静电梳齿致动器和检测梁，所述的检测梁上集成有位移检测传感器，所述的玻璃基片上设有与静电梳齿致动器连接的致动器驱动电极；所述的单晶硅基片采用(111)晶面的单晶硅基片；所述的静电梳齿致动器为推‑拉式侧向平动静电梳齿致动器；所述的位移检测传感器包括两个外接电阻和两个设在检测梁上的应力压敏电阻，所述的两个外接电阻和两个应力压敏电阻组成半桥检测电路。