硅锭制造用容器

摘要

提供了能够防止硅熔融液漏出至外部并且能够成品率良好地制造具有良好品质的硅锭的硅锭制造用容器。硅锭制造用容器具备由底板和多个侧板构成的以能够分割的方式组装的箱状容器本体、以及形成于该容器本体的内表面的脱模材料，在使硅熔融液凝固而使多晶硅生长时使用，其中，由氮化硅、碳化硅或氧化铝中的任一种所构成的多孔体或两种以上组合的多孔体构成容器本体，由氮化硅构成脱模材料。另外，构成容器本体的多孔体的开口气孔率为10%以上40%以下。由于脱模材料牢固地形成于容器本体的内表面，因而能够有效地防止脱模材料由于伴随硅凝固时的体积膨胀的应力而损坏。

主权项

一种硅锭制造用容器，具备由氮化硅、碳化硅或氧化铝中的任一种构成的多孔体或将这些之中的两种以上组合后的多孔体形成的箱状容器本体、以及在该容器本体的内表面由氮化硅形成的脱模材料，在使硅熔融液凝固而使多晶硅生长时使用，其特征在于，具备在上表面形成有矩形环状的槽的保持器具、以及四块保持板，所述容器本体，由主面为矩形的底板和主面均为矩形的四块侧板构成，所述底板载置在保持器具的上表面的由所述固定用槽围绕的区域中，所述四块侧板以各下端部插入所述槽中且围绕所述底板的方式并且以各自的一方的侧端面与相邻的侧板的主面侧部抵接的方式竖立设置，所述四块保持板以各下端部插入所述槽中的所述侧板的外周侧且各主面抵接于邻接的所述侧板的相接处的方式竖立设置，通过在所述槽的侧面与所述保持板之间嵌入楔而能够分割地组装。