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发明名称 POSITIVE WORKING PHOTOSENSITIVE MATERIAL
摘要 <p>Disclosed herein is a photosensitive composition comprising a heterocyclic thiol compound or tautomeric form thereof and its method of use on a substrate, which may include a chalcophile substrate.</p>
申请公布号 EP2929397(A2) 申请公布日期 2015.10.14
申请号 EP20130852369 申请日期 2013.12.04
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS (LUXEMBOURG) S.À.R.L. 发明人 LIU, WEIHONG;LU, PINGHUNG;TOUKHY, MEDHAT A.;LAI, SOOKMEE;SAKURAI, YOSHIHARU;HISHIDA, ARITAKA
分类号 G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
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