发明名称 一种弧形石英支架
摘要 本实用新型提供了一种弧形石英支架,包括弧形底座以及位于弧形底座两端的弧形挡板,在弧形挡板上端开设有半开通的凹槽,在弧形挡板上设置有通孔。弧形底座和挡板均为石英材质。半开通的凹槽用来放置石英棒或金属棒,凹槽的大小和个数根据所使用的石英棒或金属棒的尺寸进行调整。本实用新型的弧形底座和弧形的挡板可以更好地与腔体进行结合,保证最大的空间利用率;弧形部分的挂装尺寸得到了增加;半开通凹槽对放置进去的石英棒能起到良好的固定作用,防止石英棒的来回移动;弧形挡板上的通孔能够保证气流的均匀性。
申请公布号 CN204702805U 申请公布日期 2015.10.14
申请号 CN201520368809.X 申请日期 2015.06.02
申请人 无锡格菲电子薄膜科技有限公司 发明人 蒋健伟;廖威
分类号 C23C16/458(2006.01)I 主分类号 C23C16/458(2006.01)I
代理机构 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 代理人 高玉滨
主权项 一种弧形石英支架,其特征在于:包括弧形底座以及位于弧形底座两端的弧形挡板,在弧形挡板上端开设有半开通的凹槽,在弧形挡板上设置有通孔。
地址 214000 江苏省无锡市惠山经济开发区长安工业园标准厂房中惠路518-5号
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