发明名称 |
一种弧形石英支架 |
摘要 |
本实用新型提供了一种弧形石英支架,包括弧形底座以及位于弧形底座两端的弧形挡板,在弧形挡板上端开设有半开通的凹槽,在弧形挡板上设置有通孔。弧形底座和挡板均为石英材质。半开通的凹槽用来放置石英棒或金属棒,凹槽的大小和个数根据所使用的石英棒或金属棒的尺寸进行调整。本实用新型的弧形底座和弧形的挡板可以更好地与腔体进行结合,保证最大的空间利用率;弧形部分的挂装尺寸得到了增加;半开通凹槽对放置进去的石英棒能起到良好的固定作用,防止石英棒的来回移动;弧形挡板上的通孔能够保证气流的均匀性。 |
申请公布号 |
CN204702805U |
申请公布日期 |
2015.10.14 |
申请号 |
CN201520368809.X |
申请日期 |
2015.06.02 |
申请人 |
无锡格菲电子薄膜科技有限公司 |
发明人 |
蒋健伟;廖威 |
分类号 |
C23C16/458(2006.01)I |
主分类号 |
C23C16/458(2006.01)I |
代理机构 |
北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 |
代理人 |
高玉滨 |
主权项 |
一种弧形石英支架,其特征在于:包括弧形底座以及位于弧形底座两端的弧形挡板,在弧形挡板上端开设有半开通的凹槽,在弧形挡板上设置有通孔。 |
地址 |
214000 江苏省无锡市惠山经济开发区长安工业园标准厂房中惠路518-5号 |