一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法

摘要

本发明涉及刻蚀技术领域，公开了一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法，所述湿法刻蚀设备，包括：接板室、温度控制室、湿法刻蚀室、出板室和传送装置，以及位于温度控制室内的控温系统，刻蚀物经所述传送装置传送依次通过所述接板室、温度控制室、湿法刻蚀室和出板室；所述控温系统用于调整刻蚀物的温度至设定温度。此外，本发明还提供了一种湿法刻蚀方法。采用本发明技术方案，由于调整刻蚀物的温度至设定温度，因此，当刻蚀液对刻蚀物进行刻蚀时，保证了刻蚀速率的一致性，提高了刻蚀生产的连续稳定性，可以适应大规模连续在线生产的要求。

主权项

一种湿法刻蚀设备，其特征在于，包括：接板室(11)、温度控制室(12)、湿法刻蚀室(14)、出板室(18)和传送装置，以及位于所述温度控制室(12)内的控温系统，刻蚀物经所述传送装置传送依次通过所述接板室(11)、温度控制室(12)、湿法刻蚀室(14)和出板室(18)；所述湿法刻蚀室(14)包括浸泡刻蚀物的刻蚀液槽(23)；所述控温系统用于调整刻蚀物的温度至设定温度；所述传送装置为并行排列的一组传送辊道(20)；所述湿法刻蚀室(14)的入口侧和出口侧的传送辊道(20)上对应设置有压水辊(21)；所述压水辊(21)在水平方向上固定，在垂直方向上可以在一定范围内上下移动。