用于稳定化学气相沉积反应器中的纤丝的方法及系统

摘要

在各种实施例中，本发明提供用于稳定化学气相沉积(CVD)反应器系统中的纤丝的系统、方法及装置。系统包括具有多个电连接的底板、自该底板延伸的纤丝对及连接该纤丝对的稳定件。各纤丝与该两个电连接电接触，且在该两个电连接间界定导电路径。稳定该等纤丝的方法包括提供该纤丝对，且将该纤丝对与至少一个稳定件连接。该稳定件可包括电绝缘材料。

主权项

一种化学气相沉积反应器系统，其包含：包含多个电连接的底板；自该底板延伸的纤丝对，各纤丝(i)与该等电连接中的两者电接触且(ii)在该两个电连接间界定导电路径；以及连接该纤丝对的稳定件。