一种新型极限电流型片式氧传感器

摘要

一种新型极限电流型片式氧传感器，其特征在于：芯片主体由6层锆流延片组成，为第一层流延基片（1），第二层流延基片（2），第三层流延基片（3），第四层流延基片（4），第五层流延基片（5），第六层流延基片（6），第一层流延基片（1）与第二层流延基片（2）紧贴，该氧传感器结构紧凑坚实，反应灵敏，高温下也可以稳定的工作，同时其制备工序简单，生产效率很高，稳定性好。

主权项

一种新型极限电流型片式氧传感器，其特征在于：芯片主体由6层锆流延片组成，为第一层流延基片（1），第二层流延基片（2），第三层流延基片（3），第四层流延基片（4），第五层流延基片（5），第六层流延基片（6），第一层流延基片（1）与第二层流延基片（2）紧贴，沿芯片主体长度方向在第一层流延基片（1）的左侧上方位置由上至下依次分布有扩散障碍层流延基片（7），气体稳定空腔（9），化学泵外电极（11）的头部，在第一层流延基片（1）的右侧上方位置由上至下依次为化学泵外电极线的上表面绝缘（10），化学泵外电极（11）的尾部及化学泵外电极线的下表面绝缘（12），气体稳定空腔（9）两侧部分连接扩散障碍层流延基片（7）与第一层流延基片（1）之间为粘结剂层（8）；沿芯片主体长度方向在第二层流延基片（2）的左侧下方位置由上至下依次分布有化学泵内电极（16）的头部，空气参比通道（19），在第二层流延基片（2）的右侧下方位置由上至下依次分布有化学泵内电极线的上表面绝缘（15），化学泵内电极（16）的尾部，化学泵内电极线的上表面绝缘（17），空气参比通道（19）；空气参比通道（19）两侧部分连接第二层流延基片（2）与第四层流延基片（4）之间为第三层流延基片（3）；为了导出化学泵内电极（16）的引线，在第一层流延基片（1）的引脚处开有第一层流延基片化学泵内电极引出孔（13），及在第二层流延基片（2）的引脚处开有第二层流延基片（2）化学泵内电极引出孔（14）；在第四层流延基片（4）与第五层流延基片（5）结合处分布有加热电极（21），及加热电极上表面绝缘（20），加热电极下表面绝缘（22）；第五层流延基片（5）与第六层流延基片（6）紧贴，为了导出加热电极（21）的引线，在第五层流延基片（5）上开有第五层流延基片加热电极引出孔（23），在第六层流延基片（6）上开有第六层流延基片加热电极引出孔（24）；在第六层流延基片（6）的下表面设置有一加热引脚电极（26），在第六层流延基片（6）下表面与加热引脚电极（26）上表面之间还设置有加热引脚绝缘层（25）。