陀螺仪传感器和电子设备

摘要

本发明的目的在于，提供实现了小型化的陀螺仪传感器和电子设备。本发明的陀螺仪传感器（10）的特征在于，该陀螺仪传感器具有：第1质量部（40），其具有第1检测部（42）；第2质量部（20），其具有第2检测部（22）；第1驱动部（70a、70b），其使所述第1质量部（40）在第1轴的方向上振动；以及力转换部（80），其利用锚部（90）固定，所述第1质量部（40）和所述第2质量部（20）利用所述力转换部（80）连接，所述力转换部（80）以所述锚部（90）为轴进行移位，使所述第2质量部（20）在平面视图中与所述第1轴交叉的第2轴的方向上振动。

主权项

一种陀螺仪传感器，其特征在于，该陀螺仪传感器具有：第1质量部，其具有第1检测部；第2质量部，其具有第2检测部；第1驱动部，其使所述第1质量部在第1轴的方向上振动；以及力转换部，其由锚部固定，所述第1质量部和所述第2质量部由所述力转换部连接，所述力转换部以所述锚部为轴进行移位，使所述第2质量部在平面视图中与所述第1轴交叉的第2轴的方向上振动，所述力转换部包含：旋转体；锚梁，其连接所述锚部和所述旋转体；第1连接梁，其连接所述旋转体和所述第1质量部；以及第2连接梁，其连接所述旋转体和所述第2质量部，所述旋转体的刚性比所述锚梁的刚性大。