基于海胆型镍粒子模板的场发射阴极结构及制造方法

摘要

本发明涉及一种基于海胆型镍粒子模板的场发射阴极结构及制造方法，该结构包括一金属底电极层，设置在所述底电极层上的海胆型镍粒子模板，覆盖在所述镍粒子表面的纳米材料或薄膜。利用模板调控场发射阴极尖端的取向和分布密度，以模板上包覆的纳米材料提高场发射性能，解决了场发射器件性能不可控的难题。该阴极结构工作电压低，电子发射效率高，发射稳定可靠，制备工艺简单。

主权项

一种基于海胆型镍粒子模板的场发射阴极结构，其特征在于：该场发射阴极结构包括：基板；底电极层，设置于所述基板上；以及海胆型镍粒子，设置于所述底电极层上并作为模板；所述的模板表面覆盖有纳米材料;所述的海胆型镍粒子有内外两层结构，外层为镍纳米锥，该镍纳米锥呈辐射状分布在内层结构表面;所述镍粒子尺寸为0.3‑15 μm，所述镍纳米锥的锥点间距为0.05‑2 μm；所述海胆型镍粒子通过水热法制备，其表面纳米锥的数量和形貌能通过改变化学合成参数进行控制。