具有压电转换器的传感器阵列芯片及喷墨形成方法

摘要

本发明涉及具有压电转换器的传感器阵列芯片和喷墨形成方法。一种形成功能化传感器阵列的方法(100)包括提供(101)具有至少一个传感器阵列芯片的基板，所述至少一个传感器阵列芯片包括多个传感器结构。传感器结构包括插入在上部电极和下部电极之间并且在空间布置上位于跨越传感器阵列芯片的区域的压电层。还提供(103)具有多个微流通道的喷墨墨盒芯片，所述微流通道包括具有多个填充侧孔的填充侧和具有多个分配喷嘴的分配侧，其中多个微通道中的两个或更多个装载(104)有不同传感材料，并且其中多个分配喷嘴的位置匹配空间布置。多个分配喷嘴与多个传感器结构对齐(105)，并且多个分配喷嘴被驱动以将不同传感材料沉积在多个传感器结构上。

主权项

一种形成功能化传感器阵列的方法，所述方法包括：提供具有至少一个传感器阵列芯片的基板，所述至少一个传感器阵列芯片包括多个传感器结构，所述多个传感器结构包括插入在上部电极和下部电极之间且在空间布置上被定位在跨越所述传感器阵列芯片的区域的压电层；提供具有多个微通道的喷墨墨盒芯片，其中所述多个微通道包括具有多个填充侧孔的填充侧和具有多个分配喷嘴的分配侧，其中所述多个微通道中的两个或更多个装载有不同传感材料，并且其中所述多个分配喷嘴的位置与所述空间布置匹配；对齐所述多个分配喷嘴和所述多个传感器结构，以及驱动所述多个分配喷嘴以将所述不同传感材料沉积在所述多个传感器结构上。