| 发明名称 | 加工装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供加工装置，其能够容易地将加工室内外的压差控制成规定的压差。加工装置具备：保持被加工物的保持构件；对由该保持构件保持的被加工物实施加工的加工构件；至少收纳该保持构件和该加工构件的加工室；将气体输送至该加工室内的送风构件；将该加工室内的气氛排出的排气构件；和至少控制该加工构件的控制单元，所述加工装置的特征在于，所述加工装置具备检测该加工室内的气氛与该加工室外的气氛之间的压差的压差计，该排气构件具有：将该加工室内的气氛排出的排气通道；和能够对该排气通道的一部分进行遮蔽的遮蔽构件，该控制单元根据由该压差计检测出的值对该遮蔽构件进行控制，以使该加工室内的气氛与该加工室外的气氛相比形成规定的压差。 | ||
| 申请公布号 | CN104979243A | 申请公布日期 | 2015.10.14 |
| 申请号 | CN201510160730.2 | 申请日期 | 2015.04.07 |
| 申请人 | 株式会社迪思科 | 发明人 | 凑浩吉;关口雄也 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;B24B7/22(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 李辉;黄纶伟 |
| 主权项 | 一种加工装置，所述加工装置具备：保持被加工物的保持构件；对由该保持构件保持的被加工物实施加工的加工构件；至少收纳该保持构件和该加工构件的加工室；将气体输送至该加工室内的送风构件；将该加工室内的气氛排出的排气构件；和至少控制该加工构件的控制单元，所述加工装置的特征在于，所述加工装置具备检测该加工室内的气氛与该加工室外的气氛之间的压差的压差计，该排气构件具有：将该加工室内的气氛排出的排气通道；和能够对该排气通道的一部分进行遮蔽的遮蔽构件，该控制单元根据由该压差计检测出的值对该遮蔽构件进行控制，以使该加工室内的气氛与该加工室外的气氛相比形成规定的压差。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||