光学测量装置及方法

摘要

本发明是一种光学测量装置及方法，光学测量装置包括光源模块、光耦合模块、参考镜组以及处理单元。光源模块可提供光线。光源模块的光线可经由光耦合模块传递至参考镜组以及待测物。光线会被参考镜组、待测物反射后分别形成第一光线以及第二光线。第一光线、第二光线再通过光耦合模块传递至处理单元。处理单元将会依据第一光线与第二光线提供调整信号。处理单元将调整信号传送给参考镜组，参考镜组依据调整信号调整参考镜组。本发明通过第一光线与第二光线的干涉结果，调整参考镜组的光学特性，进而提高整体测量的精度，并克服测量不同曲面、多层体曲面须预先搭配适合的曲率范围的参考镜组的缺点。

主权项

一种光学测量装置，包括：光源模块，提供光线；光耦合模块；参考镜组；以及处理单元；其中，该光源模块的该光线经由该光耦合模块传递至该参考镜组以及待测物，该光线被该参考镜组、该待测物反射后分别形成第一光线以及第二光线，该第一光线、该第二光线通过该光耦合模块传递至该处理单元，其中，该处理单元依据该第一光线与该第二光线产生提供调整信号，该处理单元将该调整信号传送至该参考镜组，该参考镜组依据该调整信号调整该参考镜组。