| 摘要 |
<p>마이크로펌프 시스템을 갖는 마이크로유체 디바이스에 있어서 제조 공정의 간소화를 도모함과 동시에 한층 더 소형화를 도모한다. 마이크로유체 디바이스 (1)은 가스 발생부 (3)을 갖는다. 가스 발생부 (3)은 기판 (10)과 가스 발생층 (20)을 갖는다. 기판 (10)은 제1 주면 (10a)와 제2 주면 (10b)를 갖는다. 기판 (10)에는, 적어도 제1 주면 (10a)로 개구되는 마이크로유로 (14)가 형성되어 있다. 가스 발생층 (20)은 기판 (10)의 제1 주면 (10a)에 개구 (14a)를 덮도록 배치되어 있다. 가스 발생층 (20)은 외부 자극을 받음으로써 가스를 발생시킨다.</p> |
