| 发明名称 | 一种用于激光光源的液态金属靶产生装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种液态金属靶产生装置，其能够产生用于等离子激发的金属液滴，该装置包括：用于存储液态金属靶材料的储液箱，储液箱的底端与一个导管相连通；腔体，位于所述储液箱的下方，使得所述导管穿过腔体的上部进入腔体内部，以至于所述储液箱内的液态金属靶材料能通过该导管滴入到该腔体的内部；转轮，呈圆柱体形且能绕其中心轴转动，且该中心轴与该导管垂直，并且，该转轮与导管对准，以致从导管中滴下的液态金属靶材料能落到所述转轮的侧面，并通过转动的所述转轮的加速而形成所述金属液滴。本发明能够产生稳定、高频、高速的微小液态金属靶有效控制液态金属靶的直径，保证发光稳定性，有效控制发光过程中的系统污染。 | ||
| 申请公布号 | CN103281855B | 申请公布日期 | 2015.10.14 |
| 申请号 | CN201310182436.2 | 申请日期 | 2013.05.16 |
| 申请人 | 中国科学院光电研究院 | 发明人 | 王宇;张罗莎;吴晓斌;陈进新;王魁波;罗艳;谢婉露 |
| 分类号 | H05G2/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | H05G2/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 宋焰琴 |
| 主权项 | 一种液态金属靶产生装置，能够产生用于等离子激发的金属液滴，该装置包括用于存储液态金属靶材料(12)的储液箱(13)，储液箱(13)的底端与一个导管(14)相连通，其特征在于，该装置还包括：腔体(18)，位于所述储液箱(13)的下方，使得所述导管(14)穿过腔体(18)的上部进入腔体内部，以至于所述储液箱(13)内的液态金属靶材料(12)能通过该导管(14)滴入到该腔体(18)的内部；转轮(7)，呈圆柱体形且能绕其中心轴转动，且该中心轴与该导管(14)垂直，所述导管(14)的延长线与所述转轮(7)的所述中心轴不相交，并且，该转轮(7)与导管(14)对准，以致从导管(14)中滴下的液态金属靶材料(12)能落到所述转轮(7)的侧面，并通过转动的所述转轮(7)的加速而形成所述金属液滴(5)。 | ||
| 地址 | 100094 北京市海淀区邓庄南路9号 | ||