超声波清洗装置及其功率控制方法

摘要

本发明的课题在于提供一种能够进一步提高功率管理的可靠性的超声波清洗装置。为此，超声波清洗装置具备被清洗物(11)、清洗液(12)、超声波振子(13)、振荡器(14)、电源部(16)以及功率计(15)，振荡器(14)具有：振荡部(17)；控制部(18)，其进行控制以使得由振荡部(17)振荡产生的第1功率变为设定功率值并向超声波振子输出；检测部(19)，其检测由控制部(18)向超声波振子(13)输出的第2功率；和运算部(20)，运算部(20)具有如下功能：导出利用校正值α对第1检测功率值进行了校正的第1校正功率值，导出利用校正值β对由功率计(15)测定的测定功率值进行了校正的第2校正功率值，在第1校正功率值偏离了第2校正功率值规定值以上的情况下，将对校正值α进行了修正以使得第1校正功率值变为第2校正功率值的修正校正值α’记录到记录部(21)。

主权项

一种超声波清洗装置，具备：清洗液，其对被清洗物进行清洗；超声波振子，其向所述清洗液供给超声波；和振荡器，其与所述超声波振子电连接，所述超声波清洗装置的特征在于还具备：功率计，其测定施加于所述超声波振子的功率，所述振荡器具有：振荡部；控制部，其进行控制以使得由所述振荡部振荡产生的第1功率变为设定功率值并向所述超声波振子输出；检测部，其检测由所述控制部向所述超声波振子输出的第2功率；记录部，其记录第1校正值以及第2校正值；和运算部，其分别与所述检测部、所述控制部、所述记录部以及所述功率计电连接，所述运算部具有如下功能：导出利用所述第1校正值对由所述检测部检测出的第1检测功率值进行了校正的第1校正功率值，导出利用所述第2校正值对由所述功率计测定的测定功率值进行了校正的第2校正功率值，将所述第2校正功率值与所述第1校正功率值进行比较，在所述第1校正功率值偏离了所述第2校正功率值规定值以上的情况下，将对所述第1校正值进行了修正以使得所述第1校正功率值变为所述第2校正功率值的第1修正校正值记录到所述记录部。