发明名称 |
基于聚偏氟乙烯压电薄膜的光声气体传感装置 |
摘要 |
本发明公开了一种基于聚偏氟乙烯压电薄膜的光声气体传感装置。它由光源(1)和其光路(2)上的管状声学谐振腔(6),以及置于管状声学谐振腔(6)侧开口处的光声气体传感器,与光声气体传感器配接的调制解调部件组成,特别是管状声学谐振腔(6)的管长为20~150mm、管内径为3~10mm,管状声学谐振腔(6)侧的开口为与其相连通的小孔(4),其孔深为1.5~2.5mm、孔直径为1.5~2.5mm,光声气体传感器为聚偏氟乙烯压电薄膜(5),其膜平面与小孔(4)端平面的间距为0.1~3mm、输出端经前置放大器(7)与调制解调部件的锁相放大器(8)的输入端电连接。它具有结构简单、较宽的响应带宽和工作稳定的特点,可广泛地用于探测和确定气体浓度或化学成分。 |
申请公布号 |
CN103411904B |
申请公布日期 |
2015.10.14 |
申请号 |
CN201310323602.6 |
申请日期 |
2013.07.30 |
申请人 |
中国科学院合肥物质科学研究院 |
发明人 |
刘锟;高晓明;汪磊;谈图;张为俊 |
分类号 |
G01N21/31(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/31(2006.01)I |
代理机构 |
合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 |
代理人 |
任岗生 |
主权项 |
一种基于聚偏氟乙烯压电薄膜的光声气体传感装置,包括光源(1)和其光路(2)上的管状声学谐振腔(6),以及置于管状声学谐振腔(6)侧开口处的光声气体传感器,与光声气体传感器配接的调制解调部件,其特征在于:所述管状声学谐振腔(6)的管长为20~150mm、管内径为3~10mm;所述管状声学谐振腔(6)侧开口为与其相连通的小孔(4),其孔深为1.5~2.5mm、孔直径为1.5~2.5mm;所述光声气体传感器为聚偏氟乙烯压电薄膜(5),所述聚偏氟乙烯压电薄膜(5)的膜平面与小孔(4)端平面的间距为0.1~3mm,其输出端经前置放大器(7)与所述调制解调部件的锁相放大器(8)的输入端电连接。 |
地址 |
230031 安徽省合肥市1110信箱 |