发明名称 |
一种紫外激光变倍扩束系统及激光加工设备 |
摘要 |
本发明适用于激光加工领域,提供了一种紫外激光变倍扩束系统,包括第一、二、三透镜;第一、三透镜为平凸正透镜,第二透镜为凸凹负透镜;第一、二、三透镜分别包括第一、二曲面,第三、四曲面及第五、六曲面;第一至六曲面的曲率半径为∞,-30,10,2.2,∞,-81;第一至三透镜的中心厚度为2,1,4;第一第三透镜的外径为10,3,34;第一至三透镜的折射率与阿贝数的比例为1.57:41,1.48:68,1.57:41;第二、三曲面的间距为6~37;第四、五曲面的间距为114~125,单位mm,公差为5%。该系统可将入射光扩束2~16倍,可适应不同出射直径及发散角的激光器,提高了激光加工的效率及精度。 |
申请公布号 |
CN103576317B |
申请公布日期 |
2015.10.14 |
申请号 |
CN201210248607.2 |
申请日期 |
2012.07.18 |
申请人 |
大族激光科技产业集团股份有限公司 |
发明人 |
李家英;周朝明;孙博;陈玉庆;高云峰 |
分类号 |
G02B27/09(2006.01)I;B23K26/36(2014.01)I;B23K26/064(2014.01)I |
主分类号 |
G02B27/09(2006.01)I |
代理机构 |
深圳中一专利商标事务所 44237 |
代理人 |
张全文 |
主权项 |
一种紫外激光变倍扩束系统,其特征在于,包括沿入射光线的传输方向依次共轴设置的第一透镜、第二透镜及第三透镜;所述第一透镜和第三透镜均为平凸型正透镜,所述第二透镜为凸凹型负透镜;所述第一透镜包括第一曲面和第二曲面,所述第二透镜包括第三曲面和第四曲面,所述第三透镜包括第五曲面和第六曲面;所述第一至第六曲面沿入射光线的传输方向依次排布;所述第一至第六曲面的曲率半径依次为:∞,‑30mm,10mm,2.2mm,∞,‑81mm;所述第一至第三透镜的中心厚度依次为:2mm,1mm,4mm;所述第一至第三透镜的外径依次为:10mm,3mm,34mm;所述第一至第三透镜的折射率与阿贝数的比例依次为:1.57:41,1.48:68,1.57:41;所述第二曲面与第三曲面在光轴上的间距为6~37mm;所述第四曲面与第五曲面在光轴上的间距为114~125mm;各所述曲率半径、中心厚度、外径、折射率与阿贝数的比例以及各所述间距的公差范围均为5%。 |
地址 |
518000 广东省深圳市南山区高新技术园北区新西路9号 |