发明名称 半導体装置の製造方法および半導体装置
摘要
申请公布号 JP5795277(B2) 申请公布日期 2015.10.14
申请号 JP20120064670 申请日期 2012.03.22
申请人 ルネサスエレクトロニクス株式会社 发明人 ▲柳▼生 祐貴
分类号 H01L23/50 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
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