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经营范围
发明名称
β−Ｇａ２Ｏ３単結晶膜付基板の製造方法
摘要
申请公布号
JP5794955(B2)
申请公布日期
2015.10.14
申请号
JP20120155200
申请日期
2012.07.11
申请人
发明人
分类号
C30B29/16;C30B19/12;H01L21/205
主分类号
C30B29/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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