发明名称 更换机台上化学制剂的方法及系统
摘要 本发明公开了一种更换机台上化学制剂的方法,通过一EAP系统实时收集机台上的报警信息,并按照预先设定的规则从报警信息中提取化学制剂的有效报警信息得到第三数据集合,将该第三数据集合存储至所述数据库中后,一控制系统根据数据库存储的第三数据集合,从第二数据集合中提取待更换化学制剂槽位的属性信息,并根据该待更换化学制剂槽位的属性信息从第一数据集合中提取并输出待更换器皿的属性信息,然后根据该控制系统输出的具体信息更换化学制剂,且在更换化学制剂时,采用一比对模块比对待更换器皿和被抽空的预置器皿的更新条形码信息,从而能准确和及时地收集报警数据,保证了机台化学制剂更换的高效性和准确性。
申请公布号 CN104979233A 申请公布日期 2015.10.14
申请号 CN201410134558.9 申请日期 2014.04.03
申请人 中芯国际集成电路制造(天津)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 尹浩;马擎;张健;郭伟凯
分类号 H01L21/67(2006.01)I 主分类号 H01L21/67(2006.01)I
代理机构 上海申新律师事务所 31272 代理人 俞涤炯
主权项 一种更换机台上化学制剂的方法,其特征在于,应用于设置有若干槽位的机台上,且每个所述槽位上均预置有一盛放有化学制剂的器皿,所述方法包括如下步骤: 对应每个槽位均提供若干盛放有相应化学制剂的待用器皿; 将包含有待用器皿属性信息的第一数据集合和包含有槽位属性信息的第二数据集合均存储至一数据库中; 利用一EAP系统实时收集所述机台上的报警信息,并按照预先设定的规则从所述报警信息中提取化学制剂的有效报警信息得到第三数据集合,并将该第三数据集合存储至所述数据库中; 一控制系统根据所述数据库存储的所述第三数据集合,从所述第二数据集合中提取待更换化学制剂槽位的属性信息,并根据该待更换化学制剂槽位的属性信息从所述第一数据集合中提取并输出待更换器皿的属性信息; 根据待更换化学制剂槽位的属性信息和所述待更换器皿的属性信息于所述待用器皿中获取待更换器皿,并将该待更换器皿替换位于所述待更换化学制剂槽位上被抽空的预置器皿; 其中,所述待用器皿属性信息中包括有每个所述待用器皿中盛放的化学制剂的名称,所述槽位属性信息包括可用于每个槽位对应的化学制剂的名称。 
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