发明名称 |
半导体装置及其制造方法 |
摘要 |
一种半导体装置及其制造方法,半导体装置包括:一半导体层;一掺杂阱,设置于该半导体层内且具有一第一导电类型;一漏极区,设置于该掺杂阱内;一源极区与一主体区,设置于该半导体层内;一第一掺杂区,具有一第二导电类型,该第一掺杂区设置于该源极区与该掺杂阱之间;一第二掺杂区,具有该第一导电类型且设置于该源极区之下;一第三掺杂区,具有该第二导电类型且设置于该掺杂阱内;以及一第四掺杂区,设置于该掺杂阱内且位于该第三掺杂区之上,该第四掺杂区具有第一导电类型。此外,上述半导体装置可包括一栅极与一场板。通过本发明可使得半导体元件内具有分隔的源极区与主体区,并且源极区与主体区分别适用于不同电压的操作。 |
申请公布号 |
CN104979389A |
申请公布日期 |
2015.10.14 |
申请号 |
CN201410129676.0 |
申请日期 |
2014.04.01 |
申请人 |
世界先进积体电路股份有限公司 |
发明人 |
李琮雄;林鑫成 |
分类号 |
H01L29/78(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
贾磊 |
主权项 |
一种半导体装置,其特征在于,包括:一半导体层;一掺杂阱,设置于该半导体层内且具有一第一导电类型;一漏极区,设置于该掺杂阱内;一源极区与一主体区,设置于该半导体层内;一第一掺杂区,具有一第二导电类型,该第一掺杂区设置于该源极区与该掺杂阱之间;一第二掺杂区,具有该第一导电类型且设置于该源极区之下;一第三掺杂区,具有该第二导电类型且设置于该掺杂阱内;以及一第四掺杂区,设置于该掺杂阱内且位于该第三掺杂区之上,该第四掺杂区具有该第一导电类型。 |
地址 |
中国台湾新竹科学工业园区 |