叠层结构的形成方法以及互连结构的形成方法

摘要

一种叠层结构的形成方法以及互连结构的形成方法，其中叠层结构的形成方法包括：提供衬底；在衬底表面形成刻蚀停止层，且刻蚀停止层的材料中含有氮原子；在刻蚀停止层表面形成过渡层，且形成过渡层的工艺的反应原材料包括硅源、氮源气体和氧源气体，其中，氮源气体的流量从第一流量递减至零，氧源气体的流量从零递增至第二流量；在过渡层表面形成介质层。本发明通过在刻蚀停止层和介质层之间形成过渡层，且形成过渡层的工艺过程中的氮源气体流量递减至零、氧源气体流量从零递增至第二流量，提高了刻蚀停止层和介质层之间的粘附性，优化了刻蚀停止层和介质层之间的结合能力，从而防止介质层与刻蚀停止层之间分层或分离。

主权项

一种叠层结构的形成方法，其特征在于，包括：提供衬底；在所述衬底表面形成刻蚀停止层，且刻蚀停止层的材料中至少包括氮原子；在所述刻蚀停止层表面形成过渡层，且形成过渡层的工艺的反应原材料包括硅源、氮源气体和氧源气体，其中，氮源气体流量从第一流量递减至零，氧源气体流量从零递增至第二流量；在所述过渡层表面形成介质层，且所述介质层的材料中至少包括氧原子。