| 摘要 |
<p>복수의 기판을 선반형으로 유지하는 기판 유지구에 유지되는 상기 기판과, 상기 기판의 이면을 지지하여 반송하는 지지체와의 스침을 정밀도 높게 검출하는 것. 상기 기판 유지구가 배치되는 배치부와, 상기 기판의 하면을 지지하는 지지체, 및 상기 지지체를 진퇴시키는 진퇴 기구를 구비하고, 상기 기판 유지구에 대해 기판의 전달을 행하기 위한 기판 반송 기구와, 상기 지지체를 상기 기판 유지구에 대해 상대적으로 승강시키는 승강 기구와, 상기 기판 유지구에 유지된 기판과 지지체와의 접촉에 의해 발생하는 접촉음을 증폭시키기 위한 소리 증폭부와, 상기 기판 유지구를 전파하는 고체 전파음을 감지하여 감지 신호를 출력하는 진동 센서로부터의 상기 감지 신호에 기초하여 상기 기판과 지지체와의 스침을 검출하기 위한 검출부를 구비하도록 기판 반송 장치를 구성한다.</p> |
