研磨方法和保持器具

摘要

本发明提供研磨方法和保持器具。该研磨方法具有这样的研磨工序：在将保持在保持器具上的研磨对象物的研磨面按压接触于研磨垫的状态下，在向研磨垫上供给研磨用组合物的同时使保持器具和研磨垫相对旋转，从而对研磨对象物的研磨面进行研磨。在研磨工序中，保持在保持器具上的研磨对象物维持着研磨对象物的研磨面与研磨垫相对的状态地旋转，改变研磨对象物的朝向。

主权项

一种研磨方法，其具有这样的研磨工序：在将保持在保持器具上的研磨对象物的研磨面按压接触于研磨垫的状态下，在向研磨垫上供给研磨用组合物的同时使所述保持器具和所述研磨垫相对旋转，从而对所述研磨对象物的研磨面进行研磨，该研磨方法的特征在于，在所述研磨工序中，保持在所述保持器具上的所述研磨对象物维持着所述研磨对象物的研磨面与所述研磨垫相对的状态地旋转，改变所述研磨对象物的朝向。