一种单排风口匀胶显影腔体

摘要

本发明涉及半导体制造领域中的匀胶显影设备，具体地说是一种单排风口匀胶显影腔体，包括上匀胶腔体、中匀胶腔体、整流板及下匀胶腔体，其中下匀胶腔体的底部设有一个排风口，所述下匀胶腔体的顶部设有上匀胶腔体，所述上匀胶腔体和下匀胶腔体之间设有中匀胶腔体，所述整流板设置于排风口和晶圆之间。所述整流板为圆环形、并其上沿周向布设有多个孔洞。本发明减少排风口数量、缩小体积的同时，改善了晶圆附近的气流均匀性。

主权项

一种单排风口匀胶显影腔体，其特征在于：包括上匀胶腔体(3)、中匀胶腔体(4)、整流板(5)及下匀胶腔体(6)，其中下匀胶腔体(6)的底部设有一个排风口(1)，所述下匀胶腔体(6)的顶部设有上匀胶腔体(3)，所述上匀胶腔体(3)和下匀胶腔体(6)之间设有中匀胶腔体(4)，所述整流板(5)设置于排风口(1)和晶圆之间。