喷淋组件以及具有该喷淋组件的湿刻设备

摘要

本发明公开了一种喷淋组件，包括喷淋管，其特征在于，该喷淋组件还包括若干个喷嘴以及若干个封口组块，所述喷淋管的底部开设有多个通孔，所述若干个喷嘴可拆卸地连接于所述多个通孔的其中一部分，所述若干个封口组块可拆卸地连接于所述多个通孔的其余部分，所述喷嘴与所述喷淋管流体连通，所述封口组块密封对应的通孔。本发明还公开了一种湿刻设备，包括喷淋单元，所述喷淋单元包括多个如上所述的喷淋组件，多个喷淋组件中的多个喷淋管相互平行地或近于相互平行地排列。该喷淋组件中的喷嘴与喷淋管之间可拆卸地连接，当刻蚀工艺中出现局部刻蚀不均匀时，通过调整喷嘴与喷淋管的连接位置即可提高喷淋的均一性，提高了生产效率，降低成本。

主权项

一种喷淋组件，包括喷淋管（10），其特征在于，该喷淋组件（1）还包括若干个喷嘴（20）以及若干个封口组块（30），所述喷淋管（10）的底部开设有多个通孔（101），所述若干个喷嘴（20）可拆卸地连接于所述多个通孔（101）的其中一部分，所述若干个封口组块（30）可拆卸地连接于所述多个通孔（101）的其余部分，所述喷嘴（20）与所述喷淋管（10）流体连通，所述封口组块（30）密封对应的通孔（101）。