一种用于CCD远场法光束质量β因子测量的校准系统

摘要

本发明公开了一种用于CCD远场法光束质量β因子测量的校准系统，所述校准系统中的组合透射像差板安装在固定支座上，固定支座前面设置有直径可变的圆环遮拦，固定支座可精确调整俯仰角度和方位角度。利用激光干涉仪先对不同组合方式的透射像差板的波前畸变进行测量，再将平行光源输出光束垂直入射到组合透射像差板上，输出光束进入被校光束质量β因子测量系统，由组合透射像差板测试波前畸变计算得到的光束质量β因子值、被校光束质量β因子测量系统实测得到的光束质量β因子值对比来完成测量系统校准。本发明的校准方法操作简单，可满足不同波长、不同口径光束质量β因子测量系统的校准需求，精度较高，使用方便。

主权项

一种用于CCD远场法光束质量β因子测量的校准系统，其特征在于包括前期校准系统和后期校准系统，所述前期校准系统中平行光源的光经过可变像质装置进入激光干涉仪；所述后期校准系统中平行光源的光经过可变像质装置进入被校准光束质量β因子测量系统。