抗湿传感器和其制造方法

摘要

本发明提供一种压力传感器装置，其使用适当钝化材料/图案使得装置更结实并且抵抗热和潮湿环境。压力传感器装置使用覆盖玻璃区包括侧壁和结合界面的（多种）防潮钝化材料以避免玻璃和结合界面吸收潮气并与潮气起反应，因此在潮湿/热环境中暴露之后维持了装置输出的完整性。用于本文所描述的MEMS装置的这些钝化材料/图案可以适用于使用玻璃作为一类制造材料的任何基于MEMS的传感器和促动器。压力传感器装置可以是前侧绝对压力传感器、差压传感器或背侧绝对压力传感器。

主权项

一种设备，包括：压力传感器，包括：　  压力感测元件，其具有顶表面和底表面，以及安置于所述压力感测元件的所述顶表面上的感测电路；　  腔，其形成为所述压力感测元件的所述底表面的部分，所述腔具有多个内表面；　  底座，其具有顶表面和底表面，所述压力感测元件的所述底表面结合到所述底座的所述顶表面；以及　  至少一个钝化膜；　  其中所述至少一个钝化膜淀积于所述底座的所述底表面上和所述底座的所述侧壁上，并且所述压力感测元件的一部分与所述底座结合。