用于铂掺杂的浸泡溶液及快恢复二极管制备工艺中的铂掺杂方法

摘要

本发明涉及一种用于铂掺杂的浸泡溶液，所述溶液中含有氯亚铂酸铵和氢氟酸。本发明还提供了一种快恢复二极管制备工艺中的铂掺杂方法，所述方法包括如下步骤：（1）将硅片浸泡在铂掺杂的浸泡溶液中，获得吸附了铂离子的硅片；（2）退火，获得铂掺杂的硅材料。本发明提供的方法克服了现有技术采用蒸发或溅射进行铂掺杂的技术偏见，创新性的采用溶液对硅片材料进行铂掺杂，为快恢复二极管制备工艺中的铂掺杂方法提供了一种新的思路。

主权项

一种用于铂掺杂的浸泡溶液，其特征在于，所述溶液中含有氯亚铂酸铵和氢氟酸。