发明名称 放射源
摘要 A radiation source may include a radiation emitter for emitting radiation, a collector for collecting radiation emitted by the radiation emitter, and an outlet configured, in use, to introduce a cooled gas into the radiation source.
申请公布号 JP5795704(B2) 申请公布日期 2015.10.14
申请号 JP20100160181 申请日期 2010.07.15
申请人 エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. 发明人 スール,ワウター,アントン;ヴァン ハーペン,マーテン,マリヌス,ヨハネス,ウィルヘルムス;ギーリッセン,クート;ヤク,マーティン,ヤコブス,ヨハン
分类号 G03F7/20;G21K5/02;G21K5/08 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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