物体移动装置、物体处理装置、曝光装置、物体检查装置及元件制造方法

摘要

基板(P)通过形成为框状的轻量基板保持框(60)所吸附保持，基板保持框(60)通过包含线性马达的驱动单元(70)沿水平面被驱动。在基板保持框(60)下方，配置有对基板(P)下面喷出空气而以非接触方式悬浮支承该基板(P)成大致水平的空气悬浮单元(50)。由于多个空气悬浮单元(50)涵盖基板保持框(60)的移动范围，因此驱动单元(70)能以高速且高精度将基板保持框(60)(基板(P))沿水平面导引。

主权项

一种物体移动装置，其使一平板状物体移动，该平板状物体沿包含彼此正交的第1及第2轴的一既定二维平面所配置，该物体移动装置具备：一移动体，其保持前述物体的一端部并可沿前述二维平面移动；一驱动装置，其将前述移动体驱动于前述二维平面内的至少一轴方向；以及一非接触支承装置，其设有自前述端部被保持的前述物体的下面相隔一第一距离配置的一第一支承面以及自前述端部被保持的前述物体的前述下面相隔一第二距离配置的一第二支承面，在前述移动体被前述驱动装置驱动时，前述非接触支承装置使前述第一支承面和前述第二支承面与前述物体的前述下面各自相对向，以从下方以非接触方式支承前述物体，前述第二距离小于前述第一距离。