| 发明名称 | 掩膜板的制作方法 | ||
| 摘要 | 一种掩膜板的制作方法，其包括如下步骤：在基板上形成消融材料层；对具有所述消融材料层的所述基板进行曝光、显影，以在所述消融材料层形成具有开口的图形区域；在具有所述消融材料层的所述基板上形成金属层；去除所述消融材料层，以使所述消融材料层上的金属层与所述基板分离，得到掩模板。上述掩膜板，由于无需采用刻蚀技术，生产工艺简单，生产成本较低，而且可以使得到的掩膜板精密度较高，从而可以使其满足高像素显示屏的要求。 | ||
| 申请公布号 | CN104979495A | 申请公布日期 | 2015.10.14 |
| 申请号 | CN201510305134.9 | 申请日期 | 2015.06.05 |
| 申请人 | 信利（惠州）智能显示有限公司 | 发明人 | 柯贤军;周扬川;吴俊雄;冉应刚;龚建国;王红英;马得贵;苏君海;李建华 |
| 分类号 | H01L51/56(2006.01)I | 主分类号 | H01L51/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人 | 吴平 |
| 主权项 | 一种掩膜板的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：在基板上形成消融材料层；对具有所述消融材料层的所述基板进行曝光、显影，以在所述消融材料层形成具有开口的图形区域；在具有所述消融材料层的所述基板上形成金属层；去除所述消融材料层，以使所述消融材料层上的金属层与所述基板分离，得到掩模板。 | ||
| 地址 | 516000 广东省惠州市仲恺高新区仲恺大道666号科融创业大厦13层 | ||