用于测量工作台正交性的系统以及使用该系统来定位工作台归位的方法

摘要

公开一种用于测量工作台正交性的系统以及使用该系统来定位工作台使其归位的方法。所述系统包括：被分别安装于在工作台两侧分别布置的一对引导件上的第一和第二X-轴驱动反馈装置，用于测量并提供用于改变工作台的X-轴位置的位移；被安装在工作台的横梁上的Y-轴驱动反馈装置，用于测量并提供用于改变工作台Y-轴位置的位移；每个均被安装于在横梁的两端中该横梁与一对引导件相交的位置处的第一和第二X-轴绝对反馈装置，用于测量并提供构成工作台正交性的每个轴的位置；以及根据从第一和第二X-轴驱动反馈装置、Y-轴驱动反馈装置以及第一和第二X-轴绝对反馈装置接收到的反馈来控制工作台的位移并且检测工作台正交性的变化的控制单元。

主权项

一种用于测量工作台正交性的系统，包括：第一和第二X轴驱动反馈装置，所述第一和第二X轴驱动反馈装置被分别安装于分别布置在所述工作台两侧的一对引导件上，用于测量并提供用于改变所述工作台的X轴位置的位移；Y轴驱动反馈装置，所述Y轴驱动反馈装置被安装于所述工作台的横梁上，用于测量并提供用于改变所述工作台的Y轴位置的位移；第一和第二X轴绝对反馈装置，所述第一和第二X轴绝对反馈装置每个均被安装于在所述横梁两端的横梁与一对引导件相交的位置处，用于测量并提供构成所述工作台正交性的每个轴的位置；以及控制单元，所述控制单元根据从所述第一和第二X轴驱动反馈装置，所述Y轴驱动反馈装置以及所述第一和第二X轴绝对反馈装置接收到的反馈，来控制所述工作台的位移并检测所述工作台正交性的变化。