一种红外探测器阵列及其制作方法

摘要

本发明提供一种红外探测器阵列及其制作方法，该红外探测器阵列的结构特点在于在非致冷红外探测器像素的悬桥结构上制作两组热敏单元B1和B2，在衬底上制作另外两组热敏单元S1和S2，再通过惠斯通电桥形式将这四组热敏单元连接起来，差分输出电信号，抑制了电路噪声，可显著地提高器件的信噪比。本发明制作方法的特点在于：在释放像素结构时，先在衬底中刻蚀出腐蚀槽，然后采用各向异性腐蚀剂腐蚀硅释放像素结构，提高了腐蚀释放效率，且腐蚀形状及深度可控，可避免像素和衬底之间发生粘连，还可以以未腐蚀尽的硅作为像素的锚，简化了锚的制作工艺。

主权项

一种红外探测器阵列，其特征在于，所述红外探测器阵列包括若干个像素，所述像素包括：衬底，所述衬底表面形成有一空腔，所述衬底表面还形成有第一介质层、制作在所述第一介质层表面的第一热敏单元和第二热敏单元、形成在所述第一热敏单元和第二热敏单元表面的第一金属层、包覆在所述第一热敏单元和第二热敏单元及第一金属层上的第一钝化层、以及覆盖在所述第一钝化层表面的金属反射层；悬桥结构，悬空在所述空腔上方且通过支撑梁与所述衬底相连，所述悬桥结构包括第二介质层、制作在所述第二介质层表面的第三热敏单元和第四热敏单元、形成在第三热敏单元和第四热敏单元表面的第二金属层、以及包覆在所述第三热敏单元和第四热敏单元及第二金属层上的第二钝化层；所述支撑梁包括第三介质层、制作在第三介质层上的第三金属层、以及包覆所述第三金属层的第三钝化层；所述第一热敏单元、第二热敏单元、第三热敏单元和第四热敏单元之间通过所述第三金属层连接形成惠斯通电桥。