发明名称 |
曝气管、曝气盘及浸泡式蚀刻机 |
摘要 |
本发明提供一种曝气管,所述曝气管为中空管体,其包括管壁,所述管壁围城的空腔及位于管壁两端的开口端,所述管壁上沿轴线方向设有数个呈直线排列的第一通气孔,所述管壁上靠近每一开口端、且位于所述开口端与数个第一通气孔中最外侧的第一通气孔之间的位置设有第二通气孔,所述第二通气孔中心所在直线与所述第一通气孔中线所在直线错位设置,所述第一通气孔的直径小于所述第二通气孔的直径。本发明还提供一种曝气盘及浸泡式蚀刻机。 |
申请公布号 |
CN104973795A |
申请公布日期 |
2015.10.14 |
申请号 |
CN201510411210.4 |
申请日期 |
2015.07.14 |
申请人 |
武汉华星光电技术有限公司 |
发明人 |
刘亮;尹德胜 |
分类号 |
C03C15/00(2006.01)I |
主分类号 |
C03C15/00(2006.01)I |
代理机构 |
广州三环专利代理有限公司 44202 |
代理人 |
郝传鑫;熊永强 |
主权项 |
一种曝气管,其特征在于,所述曝气管为中空管体,其包括管壁,所述管壁围城的空腔及位于管壁两端的开口端,所述管壁上沿轴线方向设有数个呈直线排列的第一通气孔,所述管壁上靠近每一开口端、且位于所述开口端与数个第一通气孔中最外侧的第一通气孔之间的位置设有第二通气孔,所述第二通气孔中心所在直线与所述第一通气孔中线所在直线错位设置,所述第一通气孔的直径小于所述第二通气孔的直径。 |
地址 |
430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋 |