| 发明名称 | 一种表面缺陷检测系统及方法 | ||
| 摘要 | 一种表面缺陷检测系统及方法，该检测系统包括检测对象、承放所述检测对象的支持台、检测装置，所述检测装置包括：照明系统、物镜、图形探测器和主控计算机；其特征在于，所述支持台为旋转支持台；所述物镜在直线运动导轨上，所述直线运动导轨位于所述旋转支持台的上方。该装置降低了运动台的复杂度，减小了设备体积，同时降低了成本，提高了产率。 | ||
| 申请公布号 | CN104977306A | 申请公布日期 | 2015.10.14 |
| 申请号 | CN201410137051.9 | 申请日期 | 2014.04.08 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 李学来;张俊;李志丹 |
| 分类号 | G01N21/89(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/89(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 一种表面缺陷检测系统，包括检测对象、承放所述检测对象的支持台、检测装置， 所述检测装置包括：照明系统、物镜、图形探测器和主控计算机； 其特征在于，所述支持台为旋转支持台；所述物镜在直线运动导轨上，所述直线运动导轨位于所述旋转支持台的上方。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 | ||